探針臺的探針臺簡介

探針臺從操作上來區分有：手動，半自動，全自動

從功能上來區分有：溫控探針臺，真空探針臺（超低溫探針臺），RF探針臺，LCD平板探針臺，霍爾效應探針臺，表面電阻率探針臺根據客戶需求定制

chuck尺寸：4*4 6*6 8*8 12*12 (可選）

X-Y移動行程：4*4 6*6 8*8 12*12(可選）

chuck Z軸方向升降10mm（選項）方便探針與樣品快速分離

顯微鏡：金相顯微鏡、體式顯微鏡、單筒顯微鏡（可選）

顯微鏡移動方式：立柱環繞型、移動平臺型、龍門結構型（可選）

探針座：有0.7um、2um、10um精度可選，磁性吸附帶磁力開關

可搭配Probe card測試

適用領域：晶圓廠、研究所、高校等 chuck尺寸800mm/600mm

X,Y電動移動行程200mm/150mm

chuck粗調升降9mm，微調升降16mm

可搭配MITUTOYO金相顯微鏡或者AEC實體顯微鏡

針座擺放個數6～8顆

顯微鏡X-Y-Z移動範圍2x2x2

可搭配Probe card測試

適用領域：8寸/6寸Wafer、IC測試之產品 chuck尺寸1200mm，平坦度土1u（不銹鋼或鍍金）

X,Y電動移動行程300mm x 300mm

chuck粗調升降9mm，微調升降16mm，微調精度土1u

可搭配MITUTOYO晶像顯微鏡或者AEC實體顯微鏡

針座擺放個數8～12顆

顯微鏡X-Y-Z移動範圍2“x2”x2“

材質：花崗巖臺面+不銹鋼

可搭配Probe card測試

適用領域：12寸Wafer、IC測試之產品機械手臂取放片

電動、鍵入坐標尋位置

量測尺寸（mm）：1800x1600、1300x1200、1200x1000 白熾燈或者LED整面背光

TFT元件特性、Driver IC量測分析

機臺尺寸（mm）：800x600、500x400、300x300 高頻測試探頭GSG / GS / SG

頻率10GHZ / 40GHZ / 50GHZ / 67GHZ

機臺尺寸同LCD 探針臺量測軟體:

I-V /C-V Curve, Isc, Voc,

Pmax, Imax, Vmax, RS, Fill Factor,

Power Convert Efficiency

采用KEITHLEY Source Meter

可加配任意品牌之太陽光模擬器