eds分析都能檢測什麽

能譜儀(EDS,Energy Dispersive Spectrometer)是用來對材料微區成分元素種類與含量分析，配合掃描電子顯微鏡與透射電子顯微鏡的使用。

原理：利用不同元素的X射線光子特征能量不同進行成分分析。

與WDS（波譜儀）相比，EDS（能譜儀）具有以下優缺點：優點:

（1）能譜儀探測X射線的效率高。

（2）在同壹時間對分析點內所有元素X射線光子的能量進行測定和計數，在幾分鐘內可得到定性分析結果，而波譜儀只能逐個測量每種元素特征波長。

（3）結構簡單，穩定性和重現性都很好。

（4）不必聚焦，對樣品表面無特殊要求，適於粗糙表面分析。