半導體表面材料清洗為什麽先用壹號液

半導體材料表面的汙染物主要有二類：有機汙染物和金屬離子汙染。壹號液主要是清除有機汙染物如油脂等的，二號液則主要清除金屬離子汙染。只有先清除材料表面覆蓋的油汙，才能徹底清除油汙下面的離子汙染物。所以應該先用壹號液清洗，然後再用二號液清洗。