低溫泵的抽氣原理
在低溫泵內設有由液氦或制冷機冷卻到極低溫度的冷板。它使氣體凝結，並保持凝結物的蒸汽壓力低於泵的極限壓力，從而達到抽氣作用。低溫抽氣的主要作用是低溫冷凝、低溫吸附和低溫捕集。①低溫冷凝：氣體分子冷凝在冷板表面上或冷凝在已冷凝的氣體層上，其平衡壓力基本上等於冷凝物的蒸氣壓。抽空氣時，冷板溫度必須低於 25K；抽氫時，冷板溫度更低。低溫冷凝抽氣冷凝層厚度可達10毫米左右。②低溫吸附：氣體分子以壹個單分子層厚 (10-8厘米數量級)被吸附到塗在冷板上的吸附劑表面上。吸附的平衡壓力比相同溫度下的蒸氣壓力低得多。如在 20K時氫的蒸氣壓力等於大氣壓力，用 20K的活性炭吸氫時吸附平衡壓力則低於10-8 帕。這樣就可能在較高溫度下通過低溫吸附來進行抽氣。③低溫捕集：在抽氣溫度下不能冷凝的氣體分子，被不斷增長的可冷凝氣體層埋葬和吸附。
壹般說來，泵的極限壓力就是冷板溫度下的被冷凝氣體的蒸氣壓力。溫度為120K時，水的蒸氣壓已低於10-8帕。溫度為20K時，除氦、氖和氫外，其他氣體的蒸氣壓也低於10-8帕。但由於被抽容器和低溫冷板的溫度不同，泵的極限壓力高於冷凝物的蒸氣壓。對於室溫下的容器，低溫板為20K時，泵的極限壓力約為冷凝物蒸氣壓力的4倍。