“pvd”是什麽意思?
PVD(Physical Vapor Deposition):物理氣相沈積,是指在真空條件下,采用低電壓、大電流的電弧放電技術,利用氣體放電使靶材蒸發並使被蒸發物質與氣體都發生電離,利用電場的加速作用,使被蒸發物質及其反應產物沈積在工件上。
壹般用來表面改性或鍍塗層。
包括真空蒸鍍、離子濺射、離子鍍等。
①離子濺射鍍膜技術:
離子濺射鍍膜技術是在真空室中,利用荷能粒子轟擊靶材表面,通過粒子的動量傳遞打出靶材中的原子及其他粒子,並使其沈積在基體上形成薄膜的技術。
粒子濺射鍍膜可實現大面積快速沈積,鍍膜密度高,附著性好。
②應用:
濺射鍍膜材料不受限制,凡能制成靶的材料均可以濺射成膜,廣泛應用於機械、電子、化學、光學、塑料等行業。
離子濺射MoS2用於軸承解決了軸承的潤滑問題,實現了固體自潤滑。
化學氣相沈積技術是壹種化學氣相生長法,是把含有構成薄膜元素的壹種或幾種化合物、單質氣體供給基體,借氣相作用或在基體表面上的化學反應生成要求的薄膜。
可鍍膜層:TiC、TiN、Ti(CN)、Al2O3、ZrO2、TiO2金剛石或類金剛石等。
利用CVD技術可實現鋼球或滾子的陶瓷化,在金屬球或滾子表面形成陶瓷層,提高滾動體的耐磨性、耐溫性、潤滑性、耐蝕性等性能。如飛機艙門軸承球。?
物理氣相沈積(PVD)技術
物理氣相沈積技術(PVD)是利用熱蒸發、離子濺射或輝光放電等物理過程,在基體表面沈積所需塗層的技術。
物理氣相沈積可鍍制金屬、合金、氧化物、氮化物、碳化物等膜層;膜層附著能力強,工藝溫度低,壹般無或很少變形。