探針臺三個探針這麽紮

(1) 顯微鏡最小倍數物鏡下找到待測點（或附近的位置），使待測點成像清晰。

(2) 確認定位器XYZ三軸均中間行程位置（即各軸導軌端面螺絲對齊）。Z軸也可略向上錯開3mm左右。

(3) 安裝並調節好探針的高度，側向平視，觀察探針與樣品臺（或樣品）間的距離（大概5mm，或略小於5mm）。

可通過調節探針臂或探針臂適配器的高度進行粗調定位。）

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(4) 移動定位器，將所有探針移動至顯微鏡光斑下。此時通過目鏡觀察可看到探針的虛影（探針成像未實體化）。

(5) 操作定位器XYZ旋鈕，將探針定位至待測點上方。此時，可調節Z軸盡量將探針靠近待測點，但不要將探針紮到待測點上（探針未實體化）。

(6) 向上撥動顯微鏡氣動升降開關，將顯微鏡擡升至最高後，切換至目標放大倍數。向下撥動開關，將顯微鏡復原至原來位置。

[註意] 顯微鏡緩慢下降的過程中，若觀察到物鏡與周圍的配件幹涉，應當立即向上拔動開關，使顯微鏡擡升。排除幹涉後再把顯微鏡復位。

(7) 操作XYZ定位旋鈕，將探針準確定位至待測點上方。慢慢調節Z軸，緩降下探針。探針兩側虛影與針尖重疊時，探針即接觸樣品待測點。為確保良好的接觸，可略微過壓探針，觀察到探針略向前移動即停止

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