掃描電子顯微鏡的原理及應用

1、掃描

電子槍產生的高能電子束入射到樣品的某個部位時，在相互作用區內發生彈性散射和非彈性散射事件，從而產生背散射電子、二次電子、吸收電子、特征和連續譜X射線、俄歇電子、陰極熒光等各種有用的信號，利用合適的探測器檢測這些信號大小，就能夠確定樣品在該電子入射部位內的某些性質，例如微區形貌或成分等。

2、成像

掃描電鏡的成像是靠掃描作用實現的。掃描發生器同時控制高能電子束和熒光屏中的電子束“同步掃描”，當電子束在樣品上進行柵格掃描時，在熒光屏上也以相同的方式同步掃描，因此“樣品空間”上的壹系列點就與“顯示空間”逐點對應。

掃描電鏡成像雖然不同光鏡和透射電鏡那樣直接由物體發出的光線或電子束成像，這種成像過程如同利用信號探測器作為攝像機，對樣品表面逐點拍攝，把各點產生的信號轉換到熒光屏上成像。

主要用途及適用範圍

掃描電鏡可應用於陶瓷材料分析、金屬材料失效分析。在石油、地質、礦物領域，電子、半導體領域，醫學、生物學領域，化工、高分子材料領域，公安刑偵工作領域，以及農、林業等方面都有廣泛應用。