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闕端麟的主要成就

闕端麟長期從事半導體材料研究工作,在中國首先開展用矽烷法制備純矽,駐高純矽烷的研究。負責並領導高純極高阻矽單晶的研制,成功地研制出極高阻控測器級矽單晶。

闕端麟試制成中國第壹臺溫差電發電機;在中國首先用矽烷法成功研制出極高阻探測器級矽單晶;首先提出用氮氣作為保護氣直拉矽單晶技術,生產出優質低成本矽單晶;發展了單色紅外光電導衰減壽命測試理論和技術,主持研制的測試儀器技術指標大大優於同類進口儀器,使矽單晶工業產品壽命測試儀國產化。

研究成果:全分子篩吸附法提純矽烷、高頻1.09μm紅外光電導衰減矽單晶少子壽命測試儀、減壓充氮直拉矽單晶技術。 闕端麟發表的重要論文50余篇。獲中國發明專利權8項。

主要論著

1:闕端麟,采用氮保護氣氛制造直拉(切氏法)矽單晶方法,中國發明專利 ,CN85100295B(已授權)。

2:闕端麟,重摻銻矽單晶的制造方法,中國發明專利,CN86100854B(已授權)。

3:闕端麟,直拉矽單晶的氣相摻氮方法,中國發明專利,CN1003607B(已授權)。

4:闕端麟,壹種微氮低氧低碳直拉矽單晶的制備方法,中國發明專利,CN1003797B (已授權)。

5:闕端麟,控制直拉矽單晶中氮量的方法,中國發明專利,CN1040400A(已授權)。

6:闕端麟,紅外光源矽單晶少子壽命測試儀,浙江大學學報,1982,3。

7:闕端麟,高頻109μ紅外光電導衰減法測試矽單晶非平衡截流子壽命,浙江大 學學報,1985,2。

8:闕端麟,高阻探測器級矽單晶,稀有金屬1987,60。

9:闕端麟,高阻矽低溫歐姆接觸,半導體學報,1988,9(2)。

10:Que Duanlin,Nitrogen Concentration in CZ Silicon Crystals Grown under Nitrogen Atmosphere,Proceedings of 2th International Conference on Solid State and IC Te chnology,Beijing,1989.

11:闕端麟,采用氮保護氣氛生長的功率晶體管用矽單晶的研究,浙江大學學報, 1990,24(3)。

12:闕端麟,減壓氮保護直拉矽單晶生長,中國科學A輯,1991,2C zochralski Silicon Crystal Growth in Ntrogen Atmosphere Under Reduced Pressure ,Science in China (Series A),1991.

13:闕端麟,含氮CZSi中NN對的退火行為,半導體學報,1991,12(4)。

14:闕端麟,微氮矽單晶中的熱受主,半導體學報, 1991,12(8)。

15:闕端麟,中國大百科全書·電子學與計算機卷“矽材料”篇。

16:Oue Duanlin,Czochralski Silicon Crystal Growth in Nitrogen Atmosphere under Reduced Pressure,Science in China (Series A),1991,34(8):1017~1024.

17:Que Duanlin,Surface Recmbination Correction Formula for Measuring Minority Carrie r Lifetime in Silicon Crystals by Monochromatic Light Photoconductive Decay ,Chinese Journal of Electronics,1994,3(4):76~78.

18:Que Duanlin,Oxygen Precipitate of New Morphology in Nitrogen Doped Silicon , Progress in Natural Science,1994,3(2):176~180.

19:Que Duanlin,Nitrogen Effects on Thermal Donor and Shallow Thermal Donor in Silico n,JApplPhys,1995,77(2):933.

20:Que Duanlin,Effect of Nitrogenoxygen Complex on Electrical Properties of Czoch ralski Silicon,ApplPhysLett.,1996,68(4):487. 闕端麟首開“半導體材料”等10余門新課,作為浙江大學半導體材料學科的奠基人,他領導該學科成為國務院學位委員會批準的第壹批碩士學位授予點之壹和第壹個半導體材料工學博士學位授予點,1988年被評為國家重點學科;1987年獲批建成高純矽及矽烷國家重點實驗室。 在闕端麟的身教言傳訓練下,他的學生都有較強的科研實驗能力。許多學生已成長為各單位業務骨幹和領導。 如楊德仁教授。

他先後為本科生、研究生開設了“電工材料”、“半導體材料”、“半導體專論”、“真空技術”、“半導體物理”、“近代物理基礎”等10多門課程,其中多門課程都是在沒有教科書,甚至沒有系統參考書的情況下,由他首先收集資料開出的。