IC工藝 CMOS工藝 MEMS工藝有什麽關系和區別? 這三者到底都是怎麽定義的,有關聯麽?

ic即intergarted circuit,集成電路,統稱.所以ic工藝即是制造集成電路的工藝,有很多種,比如最早的bipolar工藝、後來的nmos工藝、pmos工藝以及現階段被廣泛使用的cmos工藝（cmos工藝就是在壹套制程種能同時生產兩種mos,nmos和pmos）,另外還有集成了cmos和bipolar的bi－cmos工藝等等.

而mems即微機電系統,是壹門新興學科和領域,跟ic有很大的關聯,當然mems工藝也和cmos工藝會有很大的相似之處,現在的發展方向應該是把二者集成到壹套的工藝上來.

對mems不是特別的了）