芯片封裝中的shot map指什麽？

火車上，提交的時候斷網了，又要輸壹遍，悲催啊！！！這個shot map不是封裝的術語，純粹是光刻的，而且是只針對投影式步進光刻的。在stepper光刻機中，reticle的圖形被縮小投影到wafer表面，曝光wafer上的光刻膠。reticle壹般尺寸是5寸或者6寸，而縮小的倍率壹般是4倍或者5倍，最後得到的曝光範圍是小於50mm的，壹般是30mm左右見方。而對於wafer，從2寸到12寸，壹次投影是不能完成整個面積的，必須要多次投影曝光才能覆蓋整個wafer。shot，指的就是壹次投影曝光，很形象的命名，就像照相機在照相的時候閃光燈flash壹下。map，半導體領域常用於表示某種分布，也是很形象的命名，用的很廣泛。shot map，顧名思義，多次投影曝光在wafer上的分布。不同的產品，分布是不同的，甚至shot也是不同的，所以需要綜合考慮。