高溫爐管氮氣流量壹般控制在多少啊

高溫爐管氮氣流量壹般控制在60至200sccm。根據查詢相關公開信息顯示：管式爐氮氣流量控制在60至200sccm，管式爐預先通氮氣25至60分鐘，氮氣流量為60至200sccm，將管中空氣排凈。