原子探針和電子探針區別

原理不同、分析範圍不同。

1、原理不同：原子探針是利用原子束與樣品表面相互作用產生的散射信號來分析樣品的表面結構和成分，而電子探針則是利用電子束與樣品表面相互作用產生的散射信號來分析樣品的表面結構和成分。

2、分析範圍不同：原子探針主要用於分析原子尺度的表面結構和成分，可分析的元素範圍較窄，而電子探針則可分析納米到微米尺度的表面結構和成分，可分析的元素範圍較廣。