超精密加工機床主軸設計的要求與設計原則是什麽

主軸部件設計的關鍵指標是回轉精度和剛度，為此優先采用帶有溫控的低噪音主軸電機並通過扭矩或各種電磁的和薄膜的聯軸節與主軸聯接進行驅動，主軸軸承則采用具有自定位功能的球面氣浮或液體靜壓軸承結構。用此結構的主軸精度(徑向和軸向跳動)可達0.01?m。當工作壓力為0.3MPa~0.6MPa時，氣浮軸承的平均剛度為200N~400N/?m，液體靜壓軸承則為600N~1000N/?m。但為了主軸跳動不超過0.05?m，供油壓力的波動值不應大於0.01MPa，油溫波動也不應大於0.05℃。