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等離子刻蝕機的等離子刻蝕機的應用

等離子體處理可應用於所有的基材,甚至復雜的幾何構形都可以進行等離子體活化、等離子體清洗,等離子體鍍膜也毫無問題。等離子體處理時的熱負荷及機械負荷都很低,因此,低壓等離子體也能處理敏感性材料。等離子刻蝕機的典型應用包括:

等離子體清除浮渣

光阻材料剝離

表面處理

各向異性和各向同性失效分析應用材料改性

包裝清洗

鈍化層蝕刻

聚亞酰胺蝕刻

增強粘接力

生物醫學應用

聚合反應

混合物清洗

預結合清洗