微機械陀螺儀的性能參數

MEMS陀螺儀的重要參數包括：分辨率（Resolution）、零角速度輸出（零位輸出）、靈敏度（Sensitivity）和測量範圍。這些參數是評判MEMS陀螺儀性能好壞的重要標誌，同時也決定陀螺儀的應用環境。

分辨率是指陀螺儀能檢測的最小角速度，該參數與零角速度輸出其實是由陀螺儀的白噪聲決定。這三個參數主要說明了該陀螺儀的內部性能和抗幹擾能力。對使用者而言，靈敏度更具有實際的選擇意義。測量範圍是指陀螺儀能夠測量的最大角速度。不同的應用場合對陀螺儀的各種性能指標有不同的要求。