蝕刻因子與線寬補償的關系

刻蝕因子是刻蝕過程中線寬減小的結果。蝕刻因子與線寬補償的關系是刻蝕因子是刻蝕過程中線寬減小的結果。蝕刻因子是蝕刻液在蝕刻過程中，不僅向下而且對左右各方向都產生蝕刻作用，側蝕是不可避免的。