矽片清洗後有水印怎麽辦
矽片清洗後有水印怎麽辦呢?壹起來和小編了解壹下吧。
壹、矽片清洗後有水印怎麽辦
1、沖洗不幹凈,可以拿壹些幹凈的矽片再重新清洗壹次,不要過清洗劑槽,看是否有水印出現,若無,則是清洗劑的問題,調整即可。
2、烘幹不夠,將矽片在進入烘幹通道前取出甩幹或吹幹,看是否有水印,如無,則是加大烘幹通道的力度。
3、水中雜質含量過高,造成不易清洗,清除水中的雜質即可。
二、矽片清洗工藝步驟有哪些
吸附在矽片表面上的雜質可分為分子型、離子型和原子型三種情況。其中分子型雜質與矽片表面之間的吸附力較弱,清除這類雜質粒子比較容易。它們多屬油脂類雜質,具有疏水性的特點,對於清除離子型和原子型雜質具有掩蔽作用。
因此在對矽片進行化學清洗時,首先應該把它們清除幹凈。離子型和原子型吸附的雜質屬於化學吸附雜質,其吸附力都較強。
在壹般情況下,原子型吸附雜質的量較小,因此在化學清洗時,先清除掉離子型吸附雜質,然後再清除殘存的離子型雜質及原子型雜質。
最後用高純去離子水將矽片沖冼幹凈,再加溫烘幹或甩幹就可得到潔凈表面的矽片。
綜上所述,清洗矽片的壹般工藝程序為:去分子→去離子→去原子→去離子水沖洗。另外,為去除矽片表面的氧化層,常要增加壹個稀氫氟酸浸泡步驟。