真空泵--低溫泵冷凝泵

它的工作原理如下，

壹般，低溫泵會和某個密閉腔室連接，我們是希望該腔室能達到真空狀態。當腔室內部的氣體分子接觸到低溫泵內部的低溫表面，當低溫表面的溫度足夠低，低到比該氣體的飽和蒸氣壓溫度還低時，該氣體就會冷凝到表面上，而腔室中該氣體分子的數量就減少了，從而獲得真空。

具體來講，多數氣體在溫度低於20K時，都會被 冷凝 ；而有些氣體即使到了20k也無法被冷凝，於是就用另外壹種方法-- 吸附 ，比如H2 ，氦氣，壹般吸附劑用活性炭。所以低溫泵裏面的冷卻塔背面會粘附很多活性炭，就是這個用途。

那麽又是什麽讓泵體裏面的溫度足夠低呢，靠的是壓縮機，壹般低溫泵都會配套壹臺壓縮機，壓縮機裏面的冷媒是氦氣，至於壓縮機的怎麽工作的，下次有機會再聊聊。

低溫泵硬件結構圖如下，

各結構的名稱和用途如下，

a）1+5+7 = 壹級冷陣，保證溫度在45-100k；其中障板，通俗的講就是擋板，樣式為斜45度的單層百葉窗，主要作用是保證被抽氣體順利抽走，也能阻擋腔室內部的熱量擴散到冷泵內部；

b）2+4+6 = 二級冷陣，保證溫度在10-20k；

除了低溫之外，要保證溫度能夠恒定在某壹具體值，還需要有加熱，所以壹級冷陣和二級冷陣內部還有加熱器。

實際接觸到泵的品牌有CTI 和ULVAC 的。

其中主要展示壹下裏面的冷卻板和吸附劑--活性炭，如下，

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