光刻機是幹什麽用的
光刻機就是用光來雕刻的機器,是用來實現光線侵蝕光刻膠的目的。所以說,光刻機就是把很大的電路圖,通過透鏡縮小到芯片那麽大,然後用光線侵蝕掉光刻膠,達到自動形成電路的目的。
光刻機是非常復雜的機械,目前最厲害的光刻機生產商就是荷蘭的ASML,他們現在已經能夠生產刻出5nm線路的光刻機了。
光刻機的分類
光刻機壹般根據操作的簡便性分為三種,手動、半自動、全自動。
手動:指的是對準的調節方式,是通過手調旋鈕改變它的X軸,Y軸和thita角度來完成對準,對準精度不高。
半自動:指的是對準可以通過電動軸根據CCD的進行定位調諧。
自動:指的是從基板的上載下載,曝光時長和循環都是通過程序控制,自動光刻機主要是滿足工廠對於處理量的需要。