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矽壓阻式壓力傳感器原理圖

壓阻式壓力傳感器的基本原理是惠斯頓電橋,輸出差分電壓。如下圖:

對於矽壓阻式壓力傳感器來說,由於材料的特性,該電橋上的四個電阻都存在溫度系數,並且,壓敏系數也存在溫度系數,且小於零。所以,必須要溫度補償。該類傳感器在恒流供電和恒壓供電時,對於靈敏度的溫度漂移有很大的差別。