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怎樣提高光柵傳感器分辨率

兩種方法:

利用電子細分,比如對20微米柵距的光柵尺進行200倍細分可得到0.1微米分辨率的光柵尺。但條件是光柵信號要足夠的好,也就是示波器上顯示的李賽圓要很圓。

另壹種辦法是減小柵距,比如將柵距減小到10微米,再進行200倍細分得到的便是0.05微米的分辨率。對於透射光柵,柵距減小則意味著衍射現象過重,信號質量變差。20微米柵距,正好是壹個臨界點。所以,壹般對小於20微米的柵距,利用的是光的幹涉方法而不采用透射方法。目前國內廠商,暫且還沒有這項技術能夠利用光的幹涉方法來做光柵尺。