比較激光表面處理技術和電子束表面處理技術的異同點

電子束、離子束、激光束是表面工程領域內的三大載體，號稱三束改性。都具有高能量密度特性。

顧名思義電子束加工是以激發電子作為載體，離子束則以離子。離子束加工是壹種元素註入過程，具有輻照損傷、噴丸作用、表面壓縮、形成表面非晶態，形成彌散化合物質點等效應，而電子束與激光束的主要作用在高能量，沒有輻照、表面壓縮等特性。

1.加工原理:電子束和離子束的加工原理相似，都是發生撞擊效應、濺射效應和註入效應，從而實現加工;而激光束加工的機理是熱效應。

2.加工裝置:電子束和離子束相似，主要由電子槍系統、真空系統、控制系統、和電源系統做成;而激光束是由激光器、電源、光學系統、機械系統等組成。

3.加工特點:

電子束: (1).束徑小、能量密度高; (2).非接觸加工，加工過程中工具與加工工件之間不存在明顯的機械切削力，不產生宏觀應力和變形; (3).被加工對象範圍廣; (4).電子束能量高，加工速度快、效率高; (5).電子束加工需要壹套專用設備和真空系統，價格昂貴。

離子束: (1).加工精度和表面質量高; (2).加工材料廣泛; (3).加工方法豐富; (4).性能好，易於實現自動化; (5).應用範圍廣泛，可根據加工要求選擇。

激光束: (1).加工精度高; (2).加工材料範圍廣; (3).加工性能好; (4).加工速度快、效率高; (5).價格昂貴加工方法:

電子束; (1).電子束掃描曝光; (2).電子束投影曝光; (3).電子束表面改性。

離子束: (1).離子束濺射去除加工; (2).離子束濺射鍍膜加工; (3).離子束註入加工; (4).離子束曝光加工。

激光束: (1).加工精度高; (2).加工材料範圍廣; (3).加工性能好; (4).加工速度快、效率高; (5).價格昂貴。