請教老師們，雙層管式爐結構有什麽特點啊?

它是三溫區的雙層石英管式爐，顧名思義嘛，采用的是雙層結構，在二層之間有間隙。在這個間隙裏呢，可以采用化學氣相沈積的方法在金屬箔上生長薄膜。之前我們研究所裏用的是沈陽科晶自動化設備有限公司的這款產品，最高工作溫度是1200°C，雙層管結構允許冷卻氣體強制通過內管內部而達到快速冷卻的效果，很優質來的。