MEMS傳感器的分類
MEMS氣體流量傳感器：高精度，檢測流量範圍廣，適用於各種需求的流量計測。 MEMS壓力傳感器：性能偏差小的MEMS壓力傳感器。 MEMS非接觸溫度傳感器：對靜止人體也能檢測，高靈敏度的人體感應傳感器。 MEMS開關：高頻，小型，長壽命的MEMS開關。
MEMS氣體流量傳感器：高精度，檢測流量範圍廣，適用於各種需求的流量計測。 MEMS壓力傳感器：性能偏差小的MEMS壓力傳感器。 MEMS非接觸溫度傳感器：對靜止人體也能檢測，高靈敏度的人體感應傳感器。 MEMS開關：高頻，小型，長壽命的MEMS開關。