中國進口日本半導體設備有哪些
中國進口日本半導體設備有曝光機,離子註入機,等離子刻蝕機,薄膜沈積機。
1、曝光機:用於半導體制造中的光刻工藝,將光阻層圖案投射到矽片上。
2、離子註入機:用於半導體制造中的摻雜工藝,將雜質原子註入到矽片上,改變矽片電學性質。
3、等離子刻蝕機:用於半導體制造中的刻蝕工藝,將光刻後的圖案刻蝕到矽片上。
4、薄膜沈積機:用於半導體制造中的薄膜制備工藝,將金屬或者氧化物等材料沈積到矽片表面。
1、曝光機:用於半導體制造中的光刻工藝,將光阻層圖案投射到矽片上。
2、離子註入機:用於半導體制造中的摻雜工藝,將雜質原子註入到矽片上,改變矽片電學性質。
3、等離子刻蝕機:用於半導體制造中的刻蝕工藝,將光刻後的圖案刻蝕到矽片上。
4、薄膜沈積機:用於半導體制造中的薄膜制備工藝,將金屬或者氧化物等材料沈積到矽片表面。