請教MEMS氣體流量傳感器的原理！

產品原理

MEMS氣體質量流量計采用具有自主知識產權的MEMS芯片作為傳感器核心部件，當沒有氣體介質流過傳感器芯片時，傳感器周圍保持穩定的溫度場（溫度分布）,當氣體介質流過傳感器芯片時，溫度場因為流體介質帶走熱量導致局部溫度重新分布。局部溫度場的變化量取決於流體介質的質量及流速。集成在芯片上的傳感器對此溫度分布進行測量，通過校準，專門設計的信號處理電路和智能控制軟件可精確測量實際的介質質量流量.

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