為什麽靶材是陰極

這是因為靶材的陰極是相對於腔體陽極來說的。在濺射過程中，靶材上的原子會被帶正電的氦離子碰撞，而氦離子所帶的正電，由於壹定是飛向陰極（也就是常規說的負極），所以稱靶材為陰極。PS氦原子在真空環境裏，被電弧激發（壹次激發，或者二次）失去壹個電子，形成陽離子，遷移過程中，成為濺射中持續的流向陰極“電流”。

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