諧振式傳感器具有哪些特點

利用諧振元件把被測參量轉換為頻率信號的傳感器，又稱頻率式傳感器。當被測參量發生變化時，振動元件的固有振動頻率隨之改變，通過相應的測量電路，就可得到與被測參量成壹定關系的電信號。70年代以來諧振式傳感器在電子技術、測試技術、計算技術和半導體集成電路技術的基礎上迅速發展起來。其優點是體積小、重量輕、結構緊湊、分辨率高、精度高以及便於數據傳輸、處理和存儲等。按諧振元件的不同，諧振式傳感器可分為振弦式、振筒式、振梁式、振膜式和壓電諧振式等（見振弦式傳感器、振筒式傳感器、振梁式傳感器、振膜式傳感器、石英晶體諧振式傳感器）。諧振式傳感器主要用於測量壓力，也用於測量轉矩、密度、加速度和溫度等。