蝕刻機和光刻機的區別是啥？

蝕刻機和光刻機其實就是完全不同的兩種設備，不論從功能還是結構上來說都是天差地別，光刻機是整個芯片制造過程中最為核心的設備，芯片的制程是由光刻機決定的，而不是蝕刻機。具體如下：

1、工作原理

如果把制造芯片比喻成蓋房子，那麽光刻機的作用就是把房子的結構標註在地上。刻蝕機就是在光刻完成以後才登場的設備，也是光刻完成以後最為重要的設備之壹。刻蝕機最主要的作用就是按照光刻機已經標註好的線去做基礎建設，把不需要的地方給清除掉，只留下光刻過程中標註好的線路。

光刻機相當於畫匠，刻蝕機是雕工。前者投影在矽片上壹張精細的電路圖(就像照相機讓膠卷感光)，後者按這張圖去刻線(就像刻印章壹樣，腐蝕和去除不需要的部分)。

2、結構

光刻機的最主要的核心技術就是光源和光路，其光源和光路的主要組成部分有四個，光源、曝光、檢測、和其他高精密機械組成。對比之下，蝕刻機的結構組成就要簡單很多，主要是等離子體射頻源、反應腔室和真空氣路等組成。

3、售價

ASML的EUV光刻機單臺售價很高，蝕刻機的售價要低很多了。

4、工藝

刻蝕機是將矽片上多余的部分腐蝕掉,光刻機是將圖形刻到矽片上。

5、難度

光刻機的難度和精度大於刻蝕機。