分子泵與擴散泵的關系
分子泵和擴散泵可以到達的真空度範圍是差不多的,兩個是同級的。但兩個泵又各有不同的優點和缺點,所以在市場上兩者是並存的。
1:分子泵體積小,耗能小,對真空室的汙染比較小。但是相比擴散泵,分子泵的抽氣速度比較低,維護成本比較高(精密)。
2:擴散泵可以設計為很大的抽速,購置成本比較低。但是擴散泵體積比較大,能耗高,會對真空室有很重的油汙染,壹般要配合液氮(氦)冷阱用(運營成本高),不環保。
按趨勢來講,高真空泵還是向分子泵方向在發展,但是由於分子泵葉片轉速很高,所以對軸承有很高的要求,國內廠家生產的分子泵穩定性不是很好,國外的分子泵價格又過高,所以國內工業生產上壹般還是選用擴散泵。只有在壹些高端的產業像半導體產業和科研單位才會用到分子泵。