為什麽矽片熱氧化需要很高的溫度

簡述矽片熱處理意義 ①熱處理溫度要求：650±5℃； ②熱處理目的：還原直拉單晶矽片真實電阻率； 1、熱處理後電阻率會有什麽變化 由於氧是在大約1400℃引入矽單晶的，所以在壹般器件制造過程的溫度範圍（≤1200℃）