薄膜為什麽要在氫氣下退火
減少薄膜中的氧化物、對導電性有促進作用。
1、氫氣可以影響薄膜的化學成分和結構。在氫氣氣氛下退火可以減少薄膜中的氧化物，提高薄膜的硬度和耐腐蝕性。
2、氫氣退火有利於形成對導電性有利的銳鈦礦相，對結晶性能有所改善。同時，氫氣退火有利於產生缺陷並提高Nb原子的摻雜效率，對導電性有促進作用。
1、氫氣可以影響薄膜的化學成分和結構。在氫氣氣氛下退火可以減少薄膜中的氧化物，提高薄膜的硬度和耐腐蝕性。
2、氫氣退火有利於形成對導電性有利的銳鈦礦相，對結晶性能有所改善。同時，氫氣退火有利於產生缺陷並提高Nb原子的摻雜效率，對導電性有促進作用。