gis六氟化硫純度要求

gis六氟化硫純度要求是99.99%和99.999%。六氟化硫/SF6，包裝：10L/40L。六氟化硫是壹種無機化合物，常溫常壓下為無色、無臭、無毒、不燃的穩定氣體。六氟化硫，新壹代超高壓絕緣介質材料。作為良好的氣體絕緣體，被廣泛用於電子、電氣設備的氣體絕緣。電子級高純六氟化硫是壹種理想的電子蝕刻機。廣泛應用於微電子技術領域，用作電腦芯片、液晶屏等大型集成電路制造中的等離子刻蝕及清洗劑。