四探針法中，方塊電阻就是表面電阻率嗎？可以采用這種四探針法直接測試薄膜的表面電阻率嗎？

方塊電阻就是表面電阻率。

可以四探針法直接測試薄膜的表面電阻率。

計算公式：方塊電阻（或表面電阻率）R = 4.532 * V / I 。其中，V 是探針2-3 間的電位差； I 是探針1-4 間的電流。